随着中国高端制造技术的不断发展,与本身庞大的市场需求相互帮衬,未来十年,中国有望成为半导体芯片制造的全球中心。
目前,在国家重大科技专项的支持下,集成电路主要工艺设备如PVD、PECVD、CMP、介质刻蚀机、CMP等技术均有显著提升。而IC晶圆生产线的设备国产化率也在不断提高。设备技术的提升也拉高了对光学传感器性能的需求。除了对精度、稳定性等性能要达到极高的标准外,传感器也被要求实现更多的检测任务。
作为有着超过75年历史的工业传感器***生产厂商,SICK具有深厚的技术积累,丰富的产品种类,可以为半导体设备厂商提供更多样的产品、更优异的性能以及更专业的服务。
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太阳能硅片分选机,客户需求在皮带输送线上检测硅片的厚度,精度要求为2um
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采用2*OD5000-C30T05上下组合方式,来测量硅片的厚度
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客户利用上位机接受数据做算法处理,判定硅片的规格
客户受益:
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双头侧厚,通过以太网接口和集成在传感器内部评价单元,无需额外控制器计算
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高达80kHZ测量频率,准确测量微小变化
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激光定位更加柔性,可视觉,产品定位精度更高
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实时在线测量,相对于线激光方案,节省成本,精度更高
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